特殊气体存储柜(又称特气柜)是电子特气管道系统的核心安全存储设备,专为半导体、光伏等行业的腐蚀性、毒性、易燃易爆等高危特种气体设计。
基本特性:
1.柜体:采用≥2.5mm冷轧钢板,数控折弯成型,经酸洗磷化处理,表面静电粉末喷涂,白桔纹,达到防酸碱及防锈之效果。柜体内壁设置作业用气体面板。
2.门板:外形平板式门板,采用≥2.5mm冷轧钢板,门锁采用进口索斯科拉动开启式闸板锁(64-40-411-50);门密封条选用优质U型密封条,10x21(泡高8mm),密封条内置钢结构,密封条符合GB/T23661-2009并通过相关机构检测通过。
3.防爆视窗:设有开启式防爆视窗,视窗尺寸246*345mm,视窗锁采用经典黑色自带拉手按压式门锁;视窗玻璃采用≥6.5mm厚的进口AGC防爆玻璃;视窗采用可脱卸式锌合金铰链,配备静电跨接,安全链接门体与柜体,起到保护作用。
4.自闭门系统:柜体配备自闭门系统,选用德国多玛TS68防火型闭门器,可实现柜门90°限位,便于操作,闭门器符合GA93-2004标准,通过国家固定灭火系统和耐火构件质量监督检验中心检测合格,设计使用寿命≥30万次,使用时运转平稳、灵活,轻触柜门可实现自动关闭。
5.气瓶支架:配备2个尺寸为245*245mm的铝合金材质气瓶支架,模具成型,表面环氧树脂喷涂,配有C型导轨,可上下自由调节高度,配备快接式不锈钢链条固定,长度22节,两头配弹簧扣,有效防止气瓶倾倒。
6.进气过滤网:门底部装有透气过滤网(金属网格夹过滤棉),尺寸328*190mm,可手动调节,易于拆解清理及更换滤棉。
7.安装孔:柜体底部预留安装孔4个,便于特殊环境下与地面进行固定连接,确保柜体安全;
8.斜坡:配备304不锈钢斜坡,便于钢瓶搬入。
9.标识:设置有清晰明确的安全标识牌
10.其他:顶部可预留水喷淋安装接口、风阀通风口等,可根据实际需求定制。
特殊气体存储柜的作用:
安全防护作用:
专为半导体、LED等行业的腐蚀性、毒性、易燃易爆高危气体设计,通过负压腔体、自动吹扫、泄漏实时监测等功能,避免危险气体外泄,从源头防范中毒、燃爆等安全事故。
供气保障作用:
集成气瓶自动切换、压力调节、流量控制模块,可实现特种气体连续、稳定、精准供给,保障生产工艺的用气一致性,适配精度制造场景需求。